二手 SVG 8820 #293749266 待售

SVG 8820是一种光刻系统，能够在集成电路（IC）器件的生产中实现可靠的光刻工艺。它是一种正音深紫外线抵抗剂，针对自对齐双图样（SADP）和音高分割双图样（PSC）等双图样方式进行了优化。它已被证明是降低为IC创建小型特征尺寸的成本的重要工具。8820系统的核心是光敏材料。这些是液体光致抗蚀剂，设计用于在薄而均匀的薄膜中的半导体晶片。当暴露于紫外线激光器等光源时，光致抗蚀剂会发生化学反应，使其不溶于显影剂溶液中。这种选择性的不溶性使得光刻结构得以发展。SVG 8820针对193 nm浸入式光刻工具进行了优化。它与单模式和双模式方法兼容。它的深紫外线吸收性比传统的光刻胶具有更高的分辨率，并确保在单图和双图过程中都能接触到深紫外线波长。此外，8820的吸收性确保了更好的线缘粗糙度，减少了地形和线端效应。此外，SVG 8820的灵敏度比传统的光致抗蚀剂高，允许每天曝光晶片的通量更高。它在显影剂溶液中的溶解度允许快速的曝光后处理。它还能很好地使用可打印的油墨进行晶圆级收缩,这使得该系统特别有利于扩大光刻工艺,以实现更大范围的晶圆尺寸。8820设计用于芯片制造中要求最苛刻的高级光刻工艺。它的高分辨率和灵敏度使得它成为双阵列IC器件的理想选择，它在显影剂中的溶解度允许快速的工艺，这使得它成为大规模晶片生产的一个有吸引力的选择。