二手 SVG 8826 #293667131 待售

SVG 8826
製造商
SVG
模型
8826
ID: 293667131
晶圆大小: 4"
Coater, 4" Dual track.
SVG 8826是一种光刻设备,设计用于阵列一系列半导体和光电器件,包括用于电子制造的器件,如显示器、半导体晶片、内存芯片和太阳能电池。8826系统由三个基本组成部分组成:光致抗蚀剂、光源和掩模。光致抗蚀剂是一种材料,它对光线照射产生反应,形成一种形成图样的化学反应。光致抗蚀剂通常是一种自旋液体,可通过自旋涂层方法加以应用。它通常由聚合物、树脂或有机材料组成。SVG 8826中使用的光源是灯或激光,视应用而定,会发射出一波长对应光敏胶特性波长的光。光源通常放置在一个机柜中,位于一卷含有光刻胶的材料之上。然后将材料卷连接到曝光单元,使光刻胶暴露于光。8826单元的第三个部件是面罩,由一块金属板组成,上面有许多小孔。遮罩放置在包含光刻胶和光源的材料之间。当光致抗蚀剂暴露在光线下时,光致抗蚀剂会变得光敏,并对光线产生反应。背光穿过掩模中的小孔,发生的反应导致所需图样的形成。在SVG 8826机器中,光致抗蚀剂材料通常涂在旋转涂层的基板或晶片上。光源照射光敏材料,光敏材料对光发生反应。光致抗蚀剂材料的反应导致化学键断裂,从而形成强烈的模式。图样化的光致抗蚀剂再经过曝光后烘烤过程,通常包括蚀刻步骤,然后光致抗蚀剂可以用来形成电路元件或晶体管。8826工具设计为高度通用。它用于对各种电子元件进行制图,以及用于生产平板显示器、半导体晶片、内存芯片和其他光电器件的光刻。此外,该资产还可用于在塑料薄膜和真空成型包装上创建图样化图像。SVG 8826也很流行,因为它可以用于创建具有高度精度和重复性的复杂电路模式。
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