二手 SVG 8826 #293825860 待售

製造商
SVG
模型
8826
ID: 293825860
晶圆大小: 6"
Coater, 6" Dual track Coat Bake.
SVG 8826是由布鲁尔科学公司(Brewer Science, Inc.它旨在提供一系列数字光刻应用的最佳结果,包括翻转芯片和先进的半导体器件制造。8826光抗蚀剂系统基于一项独特的专利技术,该技术利用与电子束(e-bam)辐照形式相结合的树脂,产生具有卓越图像质量和表面光洁度的高分辨率光抗蚀剂图像。该技术可提高图像分辨率、均匀性、线缘和宽度控制,并提高线性度。这种光刻胶单元由一系列专有元件组成。具体来说,设计了一个优化的感光层,以提高193 nm和248 nm光刻的性能。优化的感光层由一种特殊的有机电荷调节聚合物溷合物组成,旨在提高整体图像分辨率、均匀性和边缘清晰度。此外,该层还设计用于提供卓越的辐射响应和对空气传播污染物的最小灵敏度。SVG 8826产生的图像在各种基板的正音和负音成像模式下都非常均匀。这样可以确保在半导体集成过程中提高产量,例如修剪、层压和烘烤。此外,光刻机的设计还能在广泛的曝光范围内提供出色的CD线性,从而在整个光刻过程中改进控制。最后,8826光致抗蚀剂工具提供了极佳的保质期和生产率,具有最小的膨胀或延迟效果.这样可以确保低拥有成本,并提高各种下游流程的性能。最后,Brewer Science, Inc.设计的SVG 8826光刻资产旨在提供数字光刻应用中的最佳性能,提供卓越的成像分辨率、均匀性和出色的CD线性。其专有部件和增强的辐射响应使其成为半导体器件制造的理想选择。
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