二手 SVG 8826 #9375679 待售

SVG 8826是由Shipley Company, LLC开发的光刻胶设备。它是设计用于半导体和集成电路制造过程的多层抗蚀剂系统。它被设计为在各种各样的过程中具有优越的性能，包括晶圆蚀刻、光刻和介电沉积，以及晶圆变薄、背磨和切丁。8826由正化学放大（CA）多层光刻胶组成，由三层组成：底层为基层，为单元提供粘附和温度稳定性；中间层为QC/PMIR层；而顶层是PSIR层，为底层提供了免受反应性离子蚀刻（RIE）和其他高能蚀刻过程的保护。该机器的设计目的是提高关键光刻应用的性能,例如对临界层进行图样化或在通用或高级I/O方桉中提供1-2µm的特性。具有出色的检测余量、高分辨率、耐蚀刻性能。该工具还具有出色的反射率控制、光照控制和迭加配准性能。此外,该资产的设计旨在为分辨率、附着力、蚀刻和曝光纬度提供更好的工艺利润。它在SiO2上采用了基于等离子体的氯气（Cl2）或氟气（F2），具有一个安全CHF3抗性条带工艺，对传统的湿条带技术提供了改进的工艺控制。该模型还提供了具有挑战性的洁净室条件，微粒和金属污染最小。最后，SVG抵抗设备支持广泛的工艺条件包括正面（相移）、背面（上光光刻）、i-line和KrF曝光、正负色调、半色调多光束曝光、厚膜/低k应用。它还具有广泛的涂层配置，包括单层、双层、三层。