二手 SVG 8826 #9375680 待售

SVG 8826是一种用于微电子制造过程的光敏抗蚀剂系统。抗蚀剂使用自旋技术沉积在晶片表面上，然后将其暴露在辐射下，以创建图样。抗蚀剂随后经过化学处理，形成交联结构，作为各种蚀刻和植入过程的可靠掩蔽材料。抗蚀剂系统由三层组成：薄膜层、缓冲层和可聚合层，它们共同构成一种高度可靠的光敏抗蚀剂。膜层是一种化学放大的抗蚀剂，吸收入射辐射的光子聚合形成稳定的层。缓冲层由有助于蚀刻过程的热固性聚合物制成；提高了蚀刻速率，同时保持了基板的兼容性。聚合层对辐射敏感，暴露时发生聚合反应。这一层进一步增强了对蚀刻的抵抗力，同时保持了由裸露图样创建的图样的保真度。抗蚀剂可以在248nm的波长下暴露于深层紫外线下，从而提高其光敏度。此外，8826在高达450°C的温度下表现出出色的热稳定性。这样可以确保抗蚀层的结构完整性在经历复杂的制造过程时保持完整。而且抗蚀剂可以与Si、SiGeC、蓝宝石等各种基材搭配使用。溶剂基抗蚀剂架构也与多种沉积过程兼容，包括化学气相沉积（CVD）和低压化学气相沉积（LPCVD）。SVG 8826系统提供高度稳定可靠的光敏抗蚀剂。它可用于各种制造工艺，并能承受高达450°C的温度。它与多种沉积工艺和基材兼容，进一步增强了其在微电子应用中的多功能性。