二手 SVG 8832 / 8836 #9033927 待售

SVG 8832/8836是一款专为半导体制造等离子蚀刻工艺而设计的光刻设备。它是一种低分子量、聚乙酸乙烯酯为基础的光致抗蚀剂系统，旨在防止湿蚀和干蚀环境中的表面蚀刻。它对离子轰击具有很高的耐受性，使得它可以用于反应性离子蚀刻和机械铣削等过程。8832/8836单元由三个不同的层组成。第一层是光致抗蚀层，是光敏材料的薄膜，暴露在光源下。它含有对光线敏感的分子，并通过在薄膜内形成暴露和未暴露的区域而对暴露产生反应。未暴露区域耐化学蚀刻，而暴露区域更易蚀刻。第二层是将光致抗蚀剂层与晶片表面结合的封盖聚合物。它还可以防止光致抗蚀剂因离子轰击和反应性蚀刻而蚀刻掉。第三层是曝光后烘烤层，是氧化硅的薄保护膜。该层是由于暴露于光源而形成的，用于在处理过程中保护光致抗蚀剂。SVG 8832/8836机已成功用于微处理器、DRAM等先进半导体器件的制造。它为其下面的层提供高度保护，使其免受热、化学和辐射的损害。此外，它是一种低成本的光致抗蚀剂工具，因此适用于批量生产应用。8832/8836资产为0.35 µm以下的模式特征提供了极好的缓解。它还与其他辅助设备兼容，如剥离溶剂和O2基干条。此外,它在从-25°C到+150°C的各种加工温度范围内都非常稳定。总体而言，SVG 8832/8836型是制造先进半导体器件的理想解决方桉。它提供了极佳的防止蚀刻、热、化学和辐射损害的保护；具有高达0.35 µm的出色图样分辨率；并且在各种加工温度下都非常稳定。此外，它是一种适合批量生产的低成本解决方桉。