二手 SVG 8832 #293667132 待售

SVG 8832是由SVG Chemicals开发的高性能光刻胶系统。它是一种化学机械抛光（CMP）抗蚀剂，配制用于半导体制造过程，如互连和低k介电层的平面化或抛光。化学是基于功能性环氧化物单体聚合成可交联膜，然后将其应用到具有自旋涂层系统的底物上。旋转涂层后，薄膜暴露在紫外线或可见光下，导致聚合膜交联。这允许在CMP系统中处理时有选择地移除抗蚀剂。8832溶解率低，在CMP浆液中表现出极好的稳定性。它也有一个低的收缩速率，特别有利于通硅通过（TSV）的应用。SVG 8832抗蚀剂在铜和其他金属上也具有良好的附着力，并且与O2和H2等离子体工艺兼容，允许更快、更可靠的抛光后处理。此外，8832抗蚀剂由于其在阳光下的低光漂白特性和低挥发性，对环境友好且安全使用。这使得它们非常适合用于需要干法或湿法蚀刻工艺的工艺步骤。此外，它们可以在广泛的温度范围内使用，允许它们在不同的应用中使用。总之，SVG 8832是一种全面的光刻胶系统，在CMP工艺方面提供卓越的性能，同时与各种工作环境保持完全兼容。其低收缩率使其特别适合于通过应用的透硅，而其低溶解率和优良的CMP浆液稳定性确保了它符合一系列的化学品和底物保护需求。