二手 SVG 8836 HPO #9180737 待售
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ID: 9180737
晶圆大小: 6"-8"
Coater / Developer systems, 6"-8"
Process:
Send-prime-chill-coat-bake-receive
Send-bake-chill-develop-bake-receive
Photoresist pumps included.
SVG 8836 HPO是一款由SVG开发的高性能、多型光刻设备。它结合了先进的光刻膜成型技术和专有工艺，在器件制造上取得了较好的效果。光敏材料是一种光敏材料，可用于半导体制造中的多种工艺。8836 HPO具有高度的灵活性,允许多种抗蚀剂类型的光照,从而实现优化结果。该系统还具有良好的加工稳定性和抗污染性能。SVG 8836 HPO具有创新的无触摸应用和自动喷涂技术,可实现精确的光阻覆盖。它可以精确地层状光刻胶薄膜，即使在复杂的图样中也能产生出色的线宽控制。该单元还通过多种操作条件实现了可重复、稳定的性能,非常适合多种类型的光刻胶处理。该机器还提供先进的自动化功能,以确保均匀的抵抗覆盖范围和高吞吐量。由8836 HPO实现的先进喷雾控制工具和柔性基板处理使过程条件更容易保持稳定和一致。SVG 8836 HPO是为满足半导体行业具有挑战性的要求而设计的。其高性能和优异的效果使其成为光刻等光刻工艺的理想选择。它非常适合高质量、一致的设备制造,并为提高生产效率和降低成本提供了高效的解决方桉。
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