二手 SVG 8836 #293608555 待售

SVG 8836是由SVG Laboratories, Inc.设计用于半导体制造的光刻工艺。抗蚀剂系统由几种成分组成：一种光致抗蚀剂、一种显影剂、一种灰和碎屑去除剂、一种灰抑制剂、一种表面张力改性剂和添加剂。光致抗蚀剂，又称成像抗蚀剂，是一种光敏材料，在光刻中用来将图桉从掩模转移到基板上。它是一种感光材料，与光源发生反应，在基板上形成不溶性图样。光致抗蚀剂单元包含多种光致抗蚀剂，每种都有自己的性质和特性，使其适合不同的应用。抗蚀剂被涂在基板上，然后暴露在光源下。辐射激活了光刻胶中的化学物质，这改变了它的物理性质--它变得不溶解，在底物上形成图样。曝光后，显影剂用来去除未曝光的冗余光刻胶并露出图桉。显影剂与裸露的材料发生反应，在基板上形成不溶的图样。8836然后使用灰和碎片清除器从基板表面除去任何剩余的光致抗蚀剂和其他类型的颗粒。这确保了基板上的高质量图样。这对于多层部件尤为重要，因为清洁对于操作过程中的高可靠性至关重要。SVG 8836还含有一种灰抑制剂，有助于限制光致抗蚀剂与显影剂的反应，减少需要去除的灰烬和碎屑的数量。表面张力修饰剂调节显影剂的表面张力，使光刻胶更容易去除。最后，8836含有添加剂，帮助微调抗蚀机的性能，并根据特定应用量身定制。综上所述，SVG 8836是设计用于半导体制造光刻工艺的光刻工具。该资产由多种光致抗蚀剂、显影剂、灰和碎片清除剂、灰抑制剂、表面张力改性剂和添加剂组成。这对于高质量和可靠的组件是非常重要的，因为它确保了从掩模到基板的精细模式转移。