二手 SVG 8838 VP #9183892 待售

SVG 8838 VP
製造商
SVG
模型
8838 VP
ID: 9183892
Coater / Developer system.
SVG 8838 VP是为半导体制造中的精密蚀刻而设计的高性能光阻设备。该系统由三个关键组件组成:光刻胶、显影剂和剥离机。光致抗蚀剂是一种具有光敏特性的聚合物,用于在蚀刻前掩盖基板上的某些区域。然后使用显影剂将光致抗蚀剂溶解在所需的基板部分,使底层材料暴露在外并准备蚀刻。然后使用剥离器从晶片中除去剩余的光致抗蚀剂。8838 VP光致抗蚀剂单元由于其低粘度液态和0.2微米的高分辨率,提供了极高的精密蚀刻效果。由于表面张力低、溶解度高,它的作用也很快,非常适合高速加工。该机具有广泛的工艺控制功能,可对显影剂进行精确控制,并具有较高的蚀刻速率和较低的侵蚀程度,以实现灵活有效的蚀刻结果。此工具适用于多个应用程序,主要用于生成单级和多级模式,以及创建高长宽比功能。SVG 8838 VP还提供极好的焊接性,并允许极精细的蚀刻和激光直接成像(LDI)。资产的特点是基板温度低,温度范围在16°C至28°C之间,这对高温敏感性基板特别有利,包括GaAs和SiC。综上所述,8838 VP是为精密蚀刻而开发的光刻胶模型。它提供了极好的精度和过程控制,并提供了一个低表面张力和高溶解度的快速作用的结果。其广泛的应用使得它适合于广泛的应用,包括单级和多级模式生成,以及用于创建高长宽比特征。对高温敏感的底物也是有利的。
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