二手 SVG 88XX #293807227 待售

SVG 88XX是SVG光刻集团于2001年开发的先进光刻设备。该系统专门设计用于亚微米半导体光刻工艺，建立在光学元件、运动控制和测量元件的集成平台上。其主要优点是对半导体制造中光刻胶薄膜的曝光提供严格的控制。88XX单元的核心是液晶显示器（LCD），它与微处理器驱动的控制器、光学前馈传感器和一组模式识别算法集成在一起。液晶屏允许通过动态调整照明水平来精确控制曝光。微处理器驱动控制器用于控制液晶屏曝光和与机器相关的各种运动阶段。这样可以确保曝光参数和图样方向与基板正确对齐。光学前馈传感器还通过检测图样的前缘并自动调整照明水平来确保精确的曝光控制，以补偿任何错位。此工具具有多种可用模式,可在各种设计中实现精确的对齐和曝光控制。SVG 88XX资产效率高,成本效益高。液晶屏和运动控制器的集成提供了精确的控制和更大的吞吐量，而光学前馈传感器阵列确保了不同基板的均匀结果。此外，模型的模式识别算法确保了精确的曝光参数，降低了基材加工过程中出错的可能性。总之，88XX是一种先进的光致抗蚀剂设备，专为实现对半导体制造中光致抗蚀剂薄膜曝光的严格控制而设计。该系统高效、经济高效，并通过其集成的液晶、运动控制器、光学前馈传感器和模式识别算法确保精确的对准和曝光参数。