二手 SVG 90 #293615917 待售

SVG 90是由半导体制造商信越化学公司开发的先进光刻设备。该系统由一个光刻涂层工艺和一个有图桉的光掩模组成。它是一种用于为高级半导体结构创建具有高分辨率成像的复杂设计的工具。90由对紫外线敏感的光敏涂层和光掩模组成。光掩模是一片薄薄的塑料或玻璃，涂有一个图样的照相膜。此阵列会阻挡紫外线的某些部分,从而创建可用于在基板上创建抗蚀层的阵列。将光刻胶涂层涂在基板上，然后将基板和面罩暴露在紫外线下。光掩模充当模具，只允许与其图桉相对应的区域暴露在紫外线下。光在光致抗蚀剂中引起反应，然后与底物发生反应，并通过蚀刻或化学洗涤除去。SVG 90单元能够产生亚微米分辨率,从而实现非常精细、复杂的设计。此外，可靠性高，热稳定性优良。这保证了它对蚀刻损伤的抵抗力高，适用于各种生产方法。这些特性使得90机适合多种类型的先进半导体结构。它最常用于生产MEMS（微电子机械系统），也用于生产纳米级结构。此外,SVG 90工艺经济高效,降低了环境影响,并具有很高的精确度。它提高了生产过程的产量，允许更高的吞吐量，可以大大降低成本。总而言之，90是新越化工公司开发的一种先进的光致抗蚀剂工具。它是由一个光刻涂层工艺和图案化的光掩模组成。该资产高度可靠，产生亚微米分辨率。适用于多种类型的先进半导体结构，性价比高，减少环境影响。