二手 SVG 90 #293814154 待售

SVG 90是一种光刻设备，设计用于将各种功能整合到半导体铸造厂和工厂中。它是由Sensitive Imaging Technologies开发的全功能、高性能的phototool平台。90系统是同类产品中最新一代的光电抗蚀剂装置,旨在降低开发和生产成本,同时提供强大的性能。SVG 90采用集成的光学和电气控制体系结构,允许高级功能放置和统一的质量控制。该机器利用一系列先进的激光光学工具来实现自动化功能和计量能力。这是通过利用机械、激光和电机模块的组合来实现的，以提供最佳的光刻工艺。90工具配备了先进的光学器件，如场展平光学器件，保证了均匀的光分布和精湛的图像质量。其相机、激光系统、自动化测量系统和机器人手臂提供精确的对准和特征放置，吞吐量高。该资产还配备了三维测绘特征，可三维测量光刻胶高度。SVG 90是一种单晶片处理模型,能够产生具有卓越性能的高分辨率抗拒图像。它提供了多种抗蚀剂类型，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、丙酮溶解聚羟基烷基酯（PHE）、novolac和聚酰亚胺抗蚀剂。软件可以支持广泛的设计功能，允许高精度生产和多重曝光序列。90提供了许多其他支持功能,包括多次曝光时间和像舞台控制机制这样的转换功能,以及形状的CAD支持、光阻测量学和内置缺陷检测工具。该设备还具有很高的可重复性,可确保产品在一段时间内的一致性。综上所述，SVG 90光致抗蚀剂系统是一种可靠、经济高效的半导体制造统包解决方桉。该单元配备了集成光学、先进激光光学、自动故障检测和缺陷检测工具等多种功能。90是生产和为复杂灵敏集成电路创建高精度特性的理想选择。