二手 SVG 90 #9085777 待售

製造商
SVG
模型
90
ID: 9085777
晶圆大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
SVG 90是一种先进的光刻设备,源自最先进的技术,适用于先进的光刻技术。它的设计目的是在一系列基板上安全、准确地设计复杂结构,如玻璃、硅和化合物。该系统使用高分辨率UV激光器,由一个多合一软件包控制,该软件包精确操作以创建微观形状和图桉。该装置采用了革命性的无化学矢量蚀刻工艺,称为激光诱导图像生成(LIIG)。这一过程不需要传统的化学蚀刻,因为它有自己的电阻材料和有害气体储层。因此,该产品对于各种应用(包括半导体器件、MEMS和传感器的制造)都具有高效率和经济效益。90具有全自动光刻机和提供高可重复性和一致性的操作。它的平台尺寸为SVG 90 mm,可以加工直径达200 mm的碎片。可以使用多种胶片格式来适应特定的应用,并且该工具可以轻松地重新定位胶片以更改图案尺寸。除此之外,该单元还提供自动机动化对准和出色的分辨率处理,以生产高质量的模式。该装置配备了由顶角灯组成的优化照明设备,提供均匀曝光。它还具有自动校准功能,可自动调整每次拍摄的曝光时间和照明水平,从而提高了图桉的准确性,而无需进行额外的手动调整。此外,石英室配有带纹理的表面反射器和紫外线过滤器,可确保更高的控制暴露效率。综上所述,90是一种高度先进的光刻胶模型,旨在高效和经济高效地生产一系列基板中的复杂结构。它的自动化操作、精确的激光曝光和优化的照明设备使它能够可靠地制作出精确度和可重复性极好的图桉。此外,它的矢量蚀刻工艺和无化学操作是优选的操作,要求精细和复杂的形状。
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