二手 SVG 90S #293814156 待售

SVG 90S是开发超高分辨率光刻工艺的最先进的光刻设备。它被设计为提供优于其他光刻系统的分辨率和成像均匀性。该系统基于深紫外线（DUV）投影光刻，采用6英寸的标线和胶片舞台。SVG 90-S光致抗蚀剂单元使用6英寸的标线图样投影到4x6英寸的胶片舞台上。这样可以将特征的分辨率降低到0.19微米。胶片舞台配备了亚微米级驱动和舞台校正机，使胶片与标线精确且可重复对准。此外,非轴向对齐工具可确保投影阵列保持在指定阵列范围内。90 S的投影光学器件配备了先进的特性，如金刚石转动光学器件、脉冲担架、弯曲运动补偿器等。金刚石转动光学器件可减少光学像差,并确保投影图像清晰准确,即使在最高分辨率水平下也是如此。脉冲担架有助于最大限度地提高图像稳定性和对比度，弯曲运动补偿器确保投影图桉与胶片舞台保持适当对齐。对90S使用的敏感膜进行了优化，以达到最佳附着力，减少残留和碎屑。这种专门的光刻胶不会像其他光刻胶胶片那样受到扫描误差的影响。另外，小于0.1微米的抗蚀性厚度允许生产高精度特征。SVG 90 S资产由外部计算机通过以太网或USB通信控制。它配备了直观的软件界面，并提供各种工具和功能，包括阵列和迭加选项，允许以最高分辨率设计和打印标线图桉。总之，90-S是一种非常先进的光刻胶模型。它在分辨率和成像均匀性方面提供了最先进的性能，具有金刚石转动光学、脉冲担架和弯曲运动补偿器等特点。此外，该设备用户友好，配有直观的界面和专用的光刻胶，能够设计和印刷精细线条图桉，精确度和分辨率更高。