二手 SVG 90S #9206219 待售

SVG 90S（Sub-micron Vapor-Phase Growth）是一种可靠的光化学气相沉积（PECVD）系统，用于处理高质量的介电、金属和其他亚微米尺度的材料。它通常用于高k和低k介电膜沉积、金属溅射和蚀刻等广泛的半导体工艺。SVG 90-S的核心是C2旋转反应器，它可以加工直径不超过25mm的晶片。利用两个同心水平圆柱体和一个外管实现低压PECVD处理。在反应堆内部，晶片以非常低的速率暴露于精确控制的反应物气体溷合物中。这使材料汽化，使它们成核并生长到晶圆表面。反应堆内的反应物种被卤素灯的光闪烁点燃，从而启动该过程。通过这一系统，90 S能够实现沉积膜的极高均匀性和保形性，因为蒸气过程使得屏障和沉积速率可以在大面积上轻松调整而无需掩蔽。这使其成为低k和高k沉积过程的理想选择,因为在极低临界尺寸的宽晶片上可以在最小残余应力的情况下获得详细的图样和厚膜。底物在低温下发生反应时保持清洁，消除了有机颗粒污染的风险。此外,90S通过直观的触摸屏控制面板实现完全自动化。这使得用户可以非常精确地轻松地控制薄膜沉积速率、气流和温度。可以存储多个过程配方并将其召回以用于可重复的应用程序,同时可以同时完成多个配方以提高生产率。SVG 90 S在亚微米尺度上对优质材料进行成型和沉积的能力使其成为广泛半导体应用的通用工具。它的准确性和可重复性使得它成为亚微米级光刻胶加工的理想选择，以及覆盖像溅射、蚀刻、接触形成等辅助半导体任务。