二手 SVG 90S #9383776 待售
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ID: 9383776
(2) Coater / (2) / Developer system
FTC And Semilab unit
(2) Intelligent pumps missing.
SVG 90S是一种用于半导体制造的光阻设备，用于创建微芯片和其他半导体器件的亚微米精度模式。它被设计成可与一系列光刻胶配合使用，包括正负光刻胶，因此可以用于多种任务。SVG 90-S系统是一个两步过程，从软烘烤开始，去除了抗蚀剂材料中的任何残留水分。第二步涉及将光刻胶暴露在紫外线下，这允许材料的图桉化。曝光后采用曝光后烘烤工艺，确保抗蚀剂正确粘附在抗蚀剂膜上。90 S单元的原生分辨率为0.5 µm。这样可以对极小的特征进行高精度的阵列处理。它还能够使用各种不同的光刻胶，这使得它成为一个非常通用的机器。此外,该工具非常可靠,可产生一致的结果。90S资产还具有其他几个独特的功能。这样的功能之一就是能够检测和标记错误。这允许检测光刻胶图样中可能用肉眼看不到的缺陷。此外,模型还具有内置的流程监视器,可提供用户友好的界面。这使得用户更容易跟踪光刻胶过程中每个步骤的进度。此外，90-S设备旨在维持安全的工作环境。它具有一系列安全措施，如压力传感器、最先进的温度控制和紧急停止。所有这些特性使得SVG 90S成为半导体制造非常有用和高效的工具。
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