二手 SVG 90SE #293664357 待售

SVG 90SE是为制造半导体器件而设计的先进光刻设备。该系统利用激光和先进的抗蚀剂材料的组合，使极薄材料层的精密光刻蚀刻到半导体基板上。激光以三轴扫描单元的形式提供，能够在基板上产生极其精确的三维表面细节。90SE非常适合制造非常小的组件,如金属触点和存储芯片,以及设备隔离层和接触层。该机还可用于创建用于光伏和MEMS应用的接触开口和通风孔。SVG 90SE工具的主要优点是能够以高度精确的图样对非常薄的光刻胶进行图样绘制。由于激光是按三维方向扫描的，弯曲结构可以以高分辨率图样。此外,该资产能够快速高效地在大面积上创建模式。90SE模型中使用的抗蚀剂是专门为半导体器件设计的。抵抗剂设计为光的吸收度较低，使光能够以更高的精度在宽广的区域上定向。材料的阻力也可以调整，以更好地满足具体应用的需要。SVG 90SE还利用创新的表征技术和过程分析软件来确保所有制造的组件都符合要求的规格。如果需要,软件还能够排除与产品相关的问题。总体而言，90SE是一种用途极为广泛的光刻设备，能够在大面积上快速高效地创建极其精确的图样。这使得它成为在各种应用中制造半导体器件的理想选择。