二手 SVG / AIO 86xx #9247857 待售

SVG/AIO 86xx系列是SVG为先进半导体器件生产而设计的光阻设备。该系统具有扫描光致抗蚀剂和喷头子系统，在各种先进工艺水平上具有优异的缺陷覆盖率、吞吐量和高产产量。该单元适合多种过程，包括多层次的模式，亚四分之一微米特征，以及通过和互连形成的能力。该机器能够在全区域曝光和高精度特性之间快速切换,并具有细线分辨率功能。使用最多四个卡带系统,该工具能够实现高速吞吐量,同时保持产量和性能。该资产具有框架紧凑、散光照明低、阴影低、均匀性高等特点。它旨在消除局部遮蔽的可能性，提高边缘敏锐度。该型号配备了四室自旋涂层/显影器，用于快速精确的平面化应用和先进的化学/机械处理。具有0.4微米位置精度的九轴边缘发电机设备有助于精确控制复杂薄膜的形成。该系统还包括一个输出功率为2KW的多光束激光成像单元，用于快速、精确的无影光刻。先进的精密光学机器具有大视野,可提高吞吐量。光学软件能够同时控制光掩码的对准和变形校正，从而形成清晰的结构，具有更高的分辨率和吞吐量。高级工具控制、监控和报告功能有助于快速提供有关流程性能和总体资产可靠性的反馈。该型号的卓越热管理能力确保了高温光刻胶等化学处理时的可靠运行和输出。总体而言，SVG 86xx系列是一种先进的光刻设备，旨在为先进的半导体器件生产工艺提供优越的产量和吞吐量。具有控制严密、精度高的复杂图样处理能力，具有较高的可靠性。