二手 SVG / ASML 90 #9298643 待售

SVG/ASML 90是一款由SVG（Advanced Semiconductor Materials Lithography）开发设计的高端光刻设备。该系统于1990年引入，用于在微观层面上创建极其精确的结构。光致抗蚀剂单元的工作原理是利用光敏化学物质（称为光致抗蚀剂）在晶片上产生图样。本机使用数值孔径为0.75的193nm KrF准分子激光器发射分成多个激光条纹的光束。这种光束随后被用来暴露一种散布在晶圆上的感光化学物质（光致抗蚀剂）。光致抗蚀剂然后像磁铁一样被吸引到晶圆或基板的选定区域，在表面上形成图桉。SVG 90工具为半导体芯片的制造提供了高分辨率、高速、优异的光学性能。它的阵列曝光时间在14到18毫秒之间,具体取决于曝光场的大小。它使用了分辨率高达0.17µm线条/空间的陡峭边缘轮廓资产，并具有+/-2nm的拍摄到拍摄的迭加精度。该型号可处理直径达200毫米的晶片，高通量为每小时45至70个晶片。它还有一个垂直和水平对准设备，确保对准精度在垂直为+/-7.1nm，在水平为+/-3.9nm。除此之外，它还有一个复杂的漂移和焦点控制系统，可以补偿晶片与晶片之间的错位，并在晶片表面保持一致的重迭。ASML 90是半导体行业的宝贵工具，是芯片生产的关键组成部分。它能够以极高的精度、速度和分辨率生成模式,从而在电子领域取得持续的进展。