二手 SVG / ASML 90S #39180 待售

SVG/ASML 90S是一种广泛用于生产半导体芯片的光刻设备。它是一个所谓的间接曝光光刻系统，采用光敏材料（光致抗蚀剂）将其车载计算机产生的图样转移到基板上。设备最多可配置三个曝光头。这台机器由几个子系统组成，具体来说，一个扫描仪、一个晶片级、一个掩模涂抹器和一个晶片装载机，它们通过高速网络连接。扫描仪由多个光学元件以及一个移动阶段组成。该级用于移动基板，由高精度电机驱动。为了绘制光致抗蚀剂图样，将特定波长的光投射到基板上。然后,高速、高分辨率的分级工具将确保光以所需的强度精确地指向目标。遮罩涂抹器位于扫描仪内，并容纳一个金属遮罩，用于将图桉投射到基板上。金属遮罩本身包括孔径和投影端口，其中来自指定波长的光用于产生所需的图样。晶片装载机或装载机/卸载机由几个组件组成，这些组件用于确保每个基板正确对齐并加载到舞台上，以及方便基板进出资产。一旦基板在舞台上，面罩在面罩涂抹器中，曝光头被发射，光束聚焦在光刻胶上，图样投射到表面。曝光头包含一系列传感器和控制器,可确保以适当的强度精确投影图样。最后，利用晶片级从模型中卸载基板，并为曝光过程设置下一个最大值。一旦基板卸载，就重复曝光过程，直到在基板上产生所需的图样。SVG 90S光敏设备非常适合大批量生产，因为它能够产生精确和一致的结果。