二手 SVG / ASML 90S #9077807 待售

SVG/ASML 90S是一种计算机控制的光刻设备,利用接触式打印,旨在以严格的方式将图样传输到硅基板上。用于微电子电路的生产。系统使用存储在计算机上并从集成光学柱光学投影到基板上的图桉形状。光学柱持有多种透镜，如聚焦元件、成像元件和投影元件。在光学柱和基板之间放置一个遮罩,该遮罩保持电路模式。来自投影透镜的光穿过掩模，聚焦到基板上。当光通过面膜上的图样时，它被聚焦在光刻涂层的基板上。根据所使用的光致抗蚀剂材料的类型，它要么暴露在光线下，要么被光线阻挡，以确定光致抗蚀剂中的图桉。SVG 90S单元具有一个模式发生器,可以将所需的设计精确地再现到基板上.这台机器还包括一个密格干涉仪，用于通过比较投影光束和反射光束的两个波前来测量聚焦。此工具还包括一个舞台控制单元，用于设置舞台运动的精度、方向和z轴位置。此外，这项资产还有一台激光扫描仪，将激光聚焦到基板上，用它来以亚微米精度调节舞台的位置。这样可以确保基板能够准确移动，以保持投影图桉的定位。然后用紫外线光源将基板曝光，这就是用来曝光光刻胶的。然后在溶剂中开发出暴露的光致抗蚀剂，并按照制造商的指令进行处理。结果是基板上的电路模式在尺寸上准确精确。该模型还具有一个过程后集成工具,用于监控设备的性能,确保设备以最高容量运行。ASML 90S对于制造超高密度和高质量的微型元件（例如处理器、微控制器和存储器）至关重要。它是市场上最准确可靠的光刻胶系统之一。