二手 SVG / ASML 90S #9078048 待售
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SVG/ASML 90S是一种光刻设备,用于创建各种电子元件,包括显示器、半导体电路以及芯片的托盘和支架。该系统使用各种工艺,包括暴露于高度聚焦的紫外线,在硅和其他半导体基板上创建图样和结构。该单元通常使用光刻单元,其中包含一个光源、最多四个摄像头和一个介质供应机制,以及一个支撑基板的平台。基板放置在平台上,距离光源精确指定的距离。然后在要曝光的基板区域上方放置一个遮罩,并操作机器在基板上方移动遮罩和光源,同时控制光线的强度和曝光时间。然后,紫外线通过遮罩聚焦到基板上,涂在基板上的光刻胶膜对光产生反应。曝光时,光阻从可溶性转变为不溶性,使基材的部分根据所需的结构不受保护、蚀刻或保护。使用不同的掩码重复此过程几次,以在基板上创建所需的特征。一旦基板按照设计进行了曝光和蚀刻,就用溶剂去除未曝光的光阻涂层,基板准备好下一步生产过程。SVG 90S是一种高度精确的工具,允许创建基板上的特征,其精度可降至微米级。它在生产各种电子元件中的使用使得生产过程中的复杂性提高了,结果的精确度也提高了。
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