二手 SVG / ASML 90S #9245069 待售

SVG/ASML 90S光刻设备是一种用于制造半导体芯片的光刻工具。因此,它是半导体行业生产具有复杂特性的不断缩小且功能日益强大的芯片的能力的关键组成部分。该系统结合了电子束抗性处理、先进的成像光学、晶片对准技术和先进的晶片处理系统，创造出最佳的芯片几何形状和地形。SVG 90S由两个组件组成：光学模块和支持模块。Optics Module配备了带电粒子（电子）柱、特征成像光学器件、低真空抵抗曝光环境以及用于控制电子束曝光的扳机单元。Optics Module可以编程为在曝光过程中在抗蚀层中产生非常精确的特征，补偿由于晶圆地形或打印错误造成的任何失真。支持模块用于提供自动晶圆对准、基板处理和盒式磁带加载。整个机器通过先旋转晶片直到以正确的速度运行，然后电子束柱开始将电子向下射向晶片的抗蚀层。电子通过成像光学器件被偏转并聚焦到芯片设计所需的特征上。曝光的精确度和精度由光学模组的扳机工具控制，该工具被设计成以非常精确的方式对电子束进行计时和引导。完成功能曝光后,将对资产进行编程以将晶片移动到支持模块,以进行对准、卡带加载和基板处理。光子模块的电子束抗蚀性处理与ASML 90S支持模块的自动处理相结合,提供了极好的精度和可重复性,使其能够在晶片上精确生成和重现所需的特征。因此,这种模型在制造先进半导体芯片方面极具价值,使制造商能够制造出更强大、更高效、更小的芯片。