二手 SVG / ASML 90S #9314698 待售

SVG/ASML 90S是一种用于半导体制造的激光光刻设备。它用于定义平版印刷和其他制造工艺的图样。SVG 90S系统使用激光器来曝光涂在基板上的感光涂层。激光通过一系列透镜和镜子被引导到基板上，从而产生所需的图样。然后开发基材，形成一种抗蚀剂，它将阻止暴露材料的一部分在后期被去除。激光首先是由掺杂了氙的铝石榴石（Nd：YAG）晶体放大，并由计算机控制的扫描仪测定。YAG激光器进一步将光电效应感应到暴露的光致抗蚀剂上，从而在暴露区域内产生小的横截面不均匀性。这些特性，以及光的强度，可以被改变，以调整光刻胶在生产过程中的性能。激光然后使用一系列透镜聚焦到晶片上。一个可变数值孔径（NA）单元允许不同形状和大小的图样形成在光致抗蚀剂上。分束器也可用于提高曝光分辨率。激光的聚焦可以由自动摆动镜机控制，以确保将曝光正确应用于整个晶圆。ASML 90S工具与去离子水浴暴露抗蚀剂去除、Steagall-liff-off和暴露后烘烤系统结合使用。此资产可用于创建高精度的光刻模式,开发时间从几秒钟到几分钟以上不等。这些模式可以从大型（VLSI）特性到最小的微电子电路。90S模型在半导体工业中被广泛用于制造制造工艺的光刻模式。该设备提供精确和一致的曝光，并将能量损失降至最低，从而在生产中获得最佳效果。其产生极小特征尺寸的均匀图桉的能力，使得复杂先进的微电子器件得以产生。