二手 SVG / RITE TRACK 8800/8836 #9165921 待售

SVG/RITE TRACK 8800/8836是一种自动化的光阻设备，设计用于在半导体基板上图样化和发展精密特征。该系统可用于光刻、蚀刻、化学机械平面化、掺杂、金属沉积等半导体制造工艺。SVG 8800/8836单元利用双轨机进行精密的照片图样制作和抵抗开发。此工具的第一个磁道是为晶圆上定制特征的精确阵列而设计的,而第二个磁道则用于处理和开发抗蚀剂。该资产支持多种功能材料的开发和制图，包括热氧化物、WBC oxie、GaAs、SOI、NiSi、聚酰亚胺等多种材料。RITE TRACK 8800/8836型号包含了一个高度先进的用于制图的激光设备和晶圆处理的精确放置阶段。激光系统采用两种微米狭缝光学器件，具有可选的光束对准功能，可改善图样，提高稳定性。此外，该机组还设有可变温度区，用于快速冷却和加热，以及液晶面板，方便晶圆导航。整个机器可以放置在紧凑、单件的机身内，以更好地方便开发过程。此功能可以方便地将工具放置在洁净室地板上,并减少在多个进程中设置和重新配置所需的时间。还提供各种选项,例如高级热管理冷却资产,以满足客户的要求。SVG 8800/8836是创建最精确模式的重要工具,可用于最困难的半导体应用。它提供了易于使用的功能工具,可快速准确地自定义和配置流程。此模型非常适合需要精确阵列和精确抵抗开发的大批量生产环境。