二手 SVS MSX-1000 #9364566 待售

SVS MSX-1000是瑞典真空系统公司（SVS）开发的光阻设备，集成了包括先进真空系统、成像技术和机器人自动化在内的全方位创新技术。该系统以先进的真空技术为基础，该技术将许多相互连接的组件合并为一个整体单元。它结合了高速二维成像、真空提取和真空应用，以确保可重复和可靠的结果。该机采用独特的半自动化工艺，在电阻薄膜和MEMS元件的沉积和开发方面实现更高的吞吐量。该工具的成像技术允许对基板和图样进行详细成像,以确保准确的沉积过程,支持标准光学光刻技术和新颖的图样制作技术。它能够成像尺寸高达500 mm2的基板,并具有一系列成像模式,从接触到极端紫外线。资产还具有主动背光功能,可用于实现对比度成像和背面照明。真空模型能够快速准确地传递材料和液体，同时提供高精度和重复性。其各种部件包括一个自动转移零件的机械臂、一个用于沉积薄膜的热蒸发器和一个用于沉积金属的溅射设备。SVS MSX 1000的高级特性的综合作用是，它能够精确一致地沉积保护性光刻胶层，用于平面化或后续处理。通过将系统的成像和沉积能力相结合，可以创建可重复的特征，并始终保持到亚微米级的高质量微尺度模式。此外，MSX-1000还提供全面的软件支持，能够精确控制沉积过程和图像分析。这确保了光刻胶层的最佳附着力和所应用图像的最高分辨率。MSX 1000是一种强大的光阻装置，旨在优化保护层的沉积和微量尺度模式在一系列基材和材料上的精确应用。它具有多种创新功能,例如先进的真空系统、成像技术和机器人自动化,使其成为各种工业应用的理想选择。