二手 SVS MSX-1000 #9364590 待售

SVS MSX-1000
製造商
SVS
模型
MSX-1000
ID: 9364590
晶圆大小: 2"-6"
Track system, 2"-6" WLP.
SVS MSX-1000是由SVS(Synopsys Validity Solutions)生产的光阻设备,主要用于接触、接近和投影打印应用。该系统旨在在真空和大气接触应用中提供高分辨率、可靠和可重复的结果。该装置采用最新的光刻胶、蚀刻铝和铬的组合,以及获得专利的软件算法和高分辨率的蒙版。SVS MSX 1000的主要特点是其强健、高精度的光阻迭层性能。这使它能够处理各种问题,而无需额外的流程步骤。它专门设计的软件算法可以识别结构特征和设计规则,从而最大程度地减少边缘和过度蚀刻效果。这使机器能够产生精确和可重复的出色高分辨率图像。此外,此工具使用三个独立控制的服务器,一个用于生成图像,一个用于应用光刻胶,另一个用于监视曝光参数。这将确保资产保持受控环境并产生一致的结果。MSX-1000是专为微电子行业而设计的,为一致的分包商计算提供了高吞吐量和低错误率。该模型由具有可互换接头和动态焦点控制的电动蒙版移位器构成。快门执行、曝光顺序和曝光后过程都是自动化的。MSX 1000可以支持一系列的光抗蚀剂,并与各种化学品兼容,具体取决于应用。除了产生可靠的结果外,设备还能够报告详细的工艺信息,如光斑大小、分辨率和曝光时间。此外,该系统设计为易于与现有的洁净室环境集成。SVS MSX-1000是一个可靠、经济实惠的光刻装置,能够产生高分辨率、高可重复性的图像,以最小的附加过程步骤确保卓越的效果。它具有强大的特点和无缝集成,是微电子生产环境的理想选择。
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