二手 SVS MSX-1000 #9409621 待售

SVS MSX-1000是为各种科学和工业应用而设计的光阻设备。它是一种由专门的点接触硅处理环境产生的光致抗蚀剂材料。该系统采用超高分辨率、精密光刻和高分辨率紫外线（UV）固化相结合，实现了极致的光刻图样。SVS MSX 1000单元的工作频率高达0.5微米,具有与复杂光刻工艺相关的所有性能参数。除了创建到10微米范围内的互连之外,它还能够创建低至5微米的特征大小。它还可以生产分辨率为1微米的微加工元件。为达到高分辨率的特点，采用了精密点镜头成像机。与采用区域暴露技术的类似系统相比，这导致了较少的缺陷。此外,使用连续可变的照明孔径尺寸允许提交以优化曝光,并在特征尺寸控制方面获得更高的精度。MSX-1000使用的光刻胶技术允许更快的处理时间和可重复性的优势。这是因为光致抗蚀剂经过化学处理，而不是结构暴露。这保证了大分子变异的范围较小。该工具还允许进行后处理，对材料进行化学固化，使其坚硬耐受机械冲击和有机溶剂暴露等应力。MSX 1000光刻胶资产能够产生高分辨率的特性,同时确保最小的图像失真。化学加工的使用也是有益的，确保了生产的可重复性和保证高质量的结果。此外，它还能够提供快速的周转时间，使其成为需要精确和详细结果的应用程序的理想选择。