二手 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293760261 待售

SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000是一种专门为积极的光刻细线处理而设计的光刻曝光和开发设备。该系统是一种可编程的自动曝光和开发设备,旨在为正反色调光阻处理中最窄的特性要求提供连续的过程解决方桉。该单元有一个由精密线性级和单轴伺服电动机组成的单一机构,使机器能够沿着X轴和Z轴精确移动,速度高达每秒0.1mm。曝光和开发头具有X、Y和Z的用户定义的可编程运动模式,空间分辨率为1 μ m/步进。SVS MSX-1000提供多种分辨率,包括0.4 μ m、0.5 μ m、0.7 μ m、1 μ m和1.2 μ m。该工具还提供多种曝光模式,包括Brightfield、Darkfield、边缘锐化、对比度和分辨率增强。它还能够执行可变重复曝光、可变多重曝光、多层曝光、2D/3D偏移曝光和同时3轴曝光。它还可以容纳包括深紫外线、可见、红外光敏等多种光敏材料。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX1000具有用户友好的控制界面,可轻松管理、保存和重新加载资产设置,包括所有曝光和开发参数。而且MSX-1000的伺服驱动模组构造也为基板处理和温度变化提供精确的对准和补偿。该模型标配了一系列可用的现场计量工具和检查设备，使用户可以在曝光过程中监控打印位置和景深。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000确保卓越的轮廓控制、低临界尺寸（CD）变化和卓越的打印能力,从而帮助消除因过程错误对齐和仪器漂移而产生的低效迭代。它是为降低产品周期时间而尽量减少人工和成本的过程效率和可靠性而设计的。凭借其特点和功能,MSX1000为平版印刷细线印刷提供了理想的解决方桉。