二手 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #9302609 待售

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000
ID: 9302609
Coater / Developer system.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000是一种光阻设备,以超过同类竞争系统的吞吐量提供高分辨率的光掩模成像。SVS MSX-1000以其强大的成像功能和连接性支持广泛的应用程序。它专为深紫外线(DUV)成像和功能尺寸应用而设计,其尺寸可达2.5微米。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX1000系统结合了多种技术,在分辨率、准确性、速度和可扩展性方面提供性能优势。首先,MSX-1000的精确线性级通过对准光学确保了高度的准确性和可重复性。舞台还设计用于快速、长距离的加工操作。其次,MSX1000使用气动执行器来满足强大的图像曝光需求,以创建统一的成像过程并提高可靠性。第三,SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000还利用专有的成像引擎与快速3轴伺服电动机协同工作,以提供高通量的掩码成像。先进的成像引擎还集成了多种功能,可确保纳米级特征尺寸要求的成像精度和精确度。SVS MSX1000遵循最先进的设计,允许轻松连接最苛刻的硬件和软件组件。该单元兼容CAM、模拟和处理软件,并与领先的扫描电子、X射线和透射电子显微镜(SEM、XRM和TEM)集成。此外,该机还具有专有的现场顺序激光成像(FSLI)支持,可快速成像小物体。最后,SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000还配备了彩色激光曝光工具,以确保清晰、功能丰富的成像。总体而言,SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000的多功能性使其成为满足大型企业光刻需求的理想解决方桉。凭借其先进的成像引擎和先进的连接能力,该资产可提供高度准确、精确和专业的掩模成像,并具有最大的吞吐量。
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