二手 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C #9244973 待售
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SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C Photoresist Equipment是一个前沿系统,用于为微芯片和光子器件行业创建高质量的光掩码。它为用户在执行光掩码处理任务时提供了最大的生产力、灵活性和准确性。SVS MSX-1000C利用由激光投影仪和感应相机组成的4束掩模对准装置,自动将模具掩模对准基片。这样可以确保准确的复制结果,并增加吞吐量,否则手动对齐将无法实现。此外,掩模对准器上还安装了高级视觉系统,可实现自动底板对准和识别,以及自动校正掩模位置错误。SCIENTifIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C具有可变角度和缩小/放大曝光功能,以及集成的曝光前校正机。此工具包含的其他技术包括自动晶圆定位检测(AWPD)和边缘检测(ED)。这些技术可以提高生产运行的准确性,实现更一致的批对批处理结果,并能够生产分辨率更高且更好地控制线宽的蒙版。此外,MSX-1000C包括先进的清洁和干燥技术,对晶圆的接触表面造成最小的污染或扭曲。此外,温度和湿度控制环境有助于减少遮罩和基板在制造过程中所承受的变形和热应力。SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C可以接受多种材料,包括多晶硅、氮化硅、金属和玻璃。它还可以容纳直径最大为5英寸的基板,允许在短时间内进行大容量加工。总体而言,SVS MSX-1000C Photoresist Asset在光掩码处理方面提供了最大的准确性、控制性和灵活性。对于希望快速、经济高效地实现全球精度和提高工艺产量的制造商来说,它是一个理想的解决方桉。
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