二手 TAKAGI / SANGYO VHM15LC11 #9394920 待售

TAKAGI/SANGYO VHM15LC11是一种光刻设备，其设计允许制造微电子和光电元件和器件。它由一个图桉室和输送系统、一个顶部和底部的涂层室、一个带集成照明单元的蚀刻室和一个烘干机组成。图桉室和送货机提供了一个精确的方法来模制晶片的裸露的抗蚀剂表面。这是通过使用常规的光学工艺来添加光和图桉化的涂层来实现的。模式以电感应线的形式表示，以及精细尺度的模式。交付工具具有专门设计的光学资产,以确保阵列精确对齐和精确分布。顶层和底层涂层腔室利用预先测量的光敏材料体积，将其放置在晶片表面上。顶部涂层可确保均匀粘附到晶片上,而底部涂层则可提高图样质量。采用一种特殊设计的照明模型，根据预编程指令，将光刻胶曝光，并对晶片表面进行图样绘制。蚀刻室提供了对光刻涂层晶片进行湿蚀刻的能力。安装了自动化设备，以确保蚀刻的图样精确，质量高。集成照明系统允许使用光学密度精确放置图样蚀刻。最后，用烘干机方便从晶片中去除多余的光致抗蚀剂。它采用了湍流气流，以确保不会留下任何水分，所有的抗蚀剂痕迹都被完全汽化。这减少了在精加工过程中发生潜在缺陷的机会。总体而言,TAKAGI VHM15LC11是一个高度先进的设备,在与制造微电子和光电元件一起进行操作时,其精度达到了令人印象深刻的水平。其自动化的图样和蚀刻能力，加上其集成的照明机器，使组件能够得到熟练的处理，以满足最高的行业标准。