二手 TEL DUO #293670501 待售

TEL DUO是用于制造电子和光电元件的光刻材料设备。它是两个聚合物层的组合，每一层都有不同的反应性染料。在这方面，整个系统材料统称为"光致抗蚀剂"。DUO由东京电子（TEL）开发，用于半导体器件的制造过程。由于其优越的化学和环境耐药性以及作为光、热和腐蚀的光致抗蚀剂的能力而被广泛使用。TEL DUO单元是一种两层结构，最初涂覆有硅酮基紫外线（UV）光致抗蚀层。然后使用光敏抗蚀剂应用该层。利用暴露于紫外线和化学蚀刻技术，以高精度打造出超薄的光刻胶层。DUO机的第二层是一个正色调的光刻胶层，涂覆在暴露于UV的光刻胶之上。该层有助于以比标准UV抗蚀剂更高的精度在光电抗蚀层中创建图样。在应用TEL DUO工艺时，紫外线从基板层上方照射下来，顶部的光刻胶层通过遮罩曝光。一旦暴露出来，顶层就被用化学试剂蚀刻掉，露出下面有图样的光致抗蚀剂层。DUO光敏工具的优点是多方面的。它不仅提供了卓越的化学和环境耐药性，而且还能够高精度地制造出小而复杂的电子和光电元件。此外，它的双层保护比单层更持久，从而延长了那些处于恶劣条件下的部件的寿命。最后，由于TEL DUO资产能够很容易地与现有的光刻系统结合使用，因此可以在半导体器件和光电元件制造中快速实现。