二手 TEL / TELIUS Immersion #9267456 待售

TEL/TELIUS Immersion是一种以光的深度穿透为特征的光阻系统，允许在高密度光刻中更精确的分辨率。它用于集成电路和微电子元件的微加工。TEL Immersion利用光敏材料，它是一种聚合物膜，对特定波长的光敏感。施加到光致抗蚀剂上的光会导致其属性发生变化,从而允许将所需的图样蚀刻到基材中。通过将光致抗蚀剂浸入流体中，更多的光能够穿透光致抗蚀剂，增加了景深和分辨率。TELIUS Immersion相比传统的光刻有几个优点。它由于增加了景深而效率更高，能够产生精度更高、精度更高的图像。它也极具成本效益，因为它不需要额外的化学品或昂贵的设备，因此非常适合大规模制造过程。此外，它较短的工艺时间允许更快地生产集成电路和其他微电子元件。浸入过程开始于将一层光致抗蚀剂沉积在底物上，该底物先前已被清洗和处理过。在曝光步骤中，它被光源（如激光）照射，在需要的地方将光刻胶曝光。光致抗蚀剂的穿透区域经历了其性质的变化，允许在随后的蚀刻步骤中进行抗蚀剂去除。这会导致图样或设计蚀刻到基板上。最后，光致抗蚀剂被移除。经检验，底物可进一步加工或原样使用。TEL/TELIUS Inmersion提供了高分辨率和准确性、快速和经济高效的生产以及最少的材料浪费等优点。