二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293610279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是为临界光刻工艺而设计的光刻设备。该系统具有高级性能级别的功能和组件,使用户能够生成高精度、高质量的打印图样。该单元由精确对准阶段、自动定位软件和实时曝光控制模块组成。机器的双板级可以倾斜、旋转、调节Z轴。对准级配备了一套精密编码器和闭环对准系统，用于精确测量曝光场的大小和位置。自动定位软件允许将整个工具配置为复杂的曝光模式。资产还具有多区域曝光模式，可用于精确控制多个曝光区域。此模式可用于创建比传统单一曝光技术分辨率更高的复杂曝光模式。此外，多区模式可用于通过将模式分成多个曝光区域来减少特定曝光模式所需的曝光时间。该型号还配备了实时曝光控制模块，用于监控曝光场，确保曝光参数保持在可接受的范围内。设备的光学单元利用基于LED的辐照系统，可以提供高强度的曝光。这个装置能够产生比大多数传统曝光系统高两百倍的曝光水平。该机器还包括用于曝光控制和数据分析的精选软件工具。这些工具使用户能够微调曝光条件,并在实际曝光前监控曝光字段中的潜在问题。TEL ACT 12是一种先进的光刻工具，适用于那些要求其印刷图样具有高精度和精确度的人。资产的多种组件和精密设计使其成为高端光刻操作的可行选项。