二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293630206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种用于多种半导体制造应用的光敏设备。该系统能够处理各种关键的光刻步骤，使工程师能够实现小至10纳米的高分辨率特征。它具有可编程的多电源,在迭加和模式传输方面具有高度的灵活性。创建TEL ACT 12的单元架构是为了最大限度地利用现有设备，包括其光刻台、光学元件和阵列功能。其用户友好的软件界面使工程师更容易以前所未有的精度创建复杂的电子模式,包括反向探测以提高准确性。TOKYO ELECTRON ACT12还具有一个可靠和健壮的运动控制机器，它具有高速度和高精度的性能。其双光束扫描仪可实现精密的多层成像，具有检振扫描和电动θ-z级，提供了广泛的调整范围，以帮助优化图样的设计。其集成的控制组件提供自动化、无忧的操作和精确的精度。此工具旨在缩短曝光周期时间并提高吞吐量。此外,该资产还提供强大的对齐和优化功能,以及卓越的缺陷检测功能,并增强了光阻处理的可靠性。TOKYO ELECTRON ACT 12的设计旨在为客户提供卓越的性能和可靠性。这一模式将在半导体和电子行业取得巨大成功，提供无与伦比的暴露均匀性和稳定、可重复的暴露剂量控制。用户可以期待快速的投资回报和更高的生产率。此外，这种设备是为了确保更高的产量、更好的步长覆盖和一致的晶片对晶片性能而建造的。