二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9042727 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种用于半导体製造的光刻胶设备。它由三个主要组成部分组成：一个浸入式腔室、一个高温烘烤系统和一个自动对准器。该单元非常适合管理多种光刻胶过程，包括旋转涂层、烘烤、预烤和开发过程。TEL ACT 12内的腔室是气动操作、闭环、浸没式的。具有耐压性能，为光刻胶的加工提供了安全的环境。此外,循环喷嘴还保证了光敏溶液的均匀分布.这消除了机械搅拌的需要。高温烘焙机提供晶圆的均匀加热。它由一个单一的加热器提供动力，并使用一个由可编程集群控制的单级热区烘烤。其温度设置非常适合光刻胶的多级温度烘烤。自动对齐器可以快速测量光掩模并将其对齐到正确的位置。它配备了由精密电动机驱动的自动对准器。所采用的广义视野将误差和错位降至最低。此外,还使用自动晶圆位置控制来确保正确对准。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT12适用于光致抗蚀剂的应用过程。其耐压腔室可实现安全、低压处理。此外，其高温烘烤工具可以提供多级温度烘烤。最后,它的自动对齐器可实现快速、准确的掩码与晶片对齐。这些组件共同使这种光刻胶资产成为敏感半导体制造工艺的理想选择。