二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9088377 待售
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











ID: 9088377
Dual Block System
Paired with Nikon S204 Scanner
(4) Cassette Blocks
T&H Units & Filter Controller Units
AC Power Unit
(2) Chemical Cabinets.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种使用紫外线(UV)曝光光刻胶材料来製造图桉的光刻胶设备。然后可以将这种模式蚀刻到基板上,如硅片,以创建集成电路元件和器件。TEL ACT 12是一个"5合1"系统,意味着它将五个不同的组成部分容纳成一个单元。这包括:扫描仪、接收器、紫外线灯、控制器和接触曝光单元(CEU)。扫描仪是一种以重复模式在光敏材料上移动的装置,使分子暴露在紫外线下。受体是一种冷凝装置,可将抗蚀剂冷却至紫外线照射的最佳温度。CEU是一个在气密环境中容纳抗蚀剂和光源的腔室,有助于保持暴露稳定性,从而产生均匀的结果。紫外线源是一种发射紫外线光谱的大功率灯,特别是在300-400 nm波长范围内。这种类型的光是光致抗蚀剂暴露所必需的,因为它作为催化剂在分子中引发化学反应。控制器运行整个设备,并确保满足曝光的所有参数。TOKYO ELECTRON ACT12能够对光刻胶进行精细的曝光.这种精度导致了复杂的模式,可以在硅晶片上复制各种元件,如晶体管和电容器。它还具有将薄至0.5µm的薄膜曝光的能力,这是使生产具有成本效益和提高产量所必需的。此外,ACT 12还具有很高的可靠性和成本效益。更重要的是,它用户友好且高效,非常适合生产微芯片和集成电路。总之,ACT12机器是生产微芯片和其他集成组件的强大工具。它具有多功能性和精确的结果,因此成为这些应用程序的首选。
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