二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9102945 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，用于在生产集成电路和其他电子元件时对半导体和薄膜材料进行蚀刻和制图。该系统允许对所需形状的薄膜材料进行精确和精确的图样处理。它被设计为在光刻过程中提供优异的性能，并且能够产生高分辨率的图样和最小的基板损伤。TEL ACT 12单元由几个组件组成，包括光源、镜头、光圈和扫描仪。光源是一种多波长的紫外线光源，产生均匀的光束，用于均匀暴露基板。该镜头的设计提供了一个更大的视野和提高分辨率的清洁模式执行。光圈是用来塑造光源的均匀和精确的图桉。该扫描仪还设计为提供一个大面积的扫描字段，以便快速和精确的图样。TOKYO ELECTRON ACT12机的基本蚀刻过程遵循顺序模式。首先，光致抗蚀剂旋转到基材上。为了获得所需的蚀刻图样，这一过程需要得到良好的控制。这是通过在施加光致抗蚀剂之前调整其粘度、自旋速度和温度来完成的。其次，基板暴露在紫外线光源下。光束由透镜和光圈聚焦成形，以达到精确的图桉。第三，光致抗蚀剂的开发和图案在基板上所需的形状。最后,蚀刻基板以创建所需的图样。ACT 12工具是可靠高效的工业光刻工具。其精密制图能力为高效生产半导体和薄膜元件提供了最高质量标准。此外，它的大扫描场和多波长光源使得它成为一个理想的工具，用于各种材料的蚀刻和图案。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 12资产是电子工业中集成电路和其他元件的蚀刻和制图的有效光刻模型。