二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112100 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光刻用的光刻设备，用途广泛且可靠。该系统为用户提供了纳米范围内的出色分辨率和稳定性。TEL ACT 12具有可调节的扫描速度和镜头到镜头的可重复性精度,能够在晶圆和其他基材上产生最优质的表面蚀刻和图桉。该单元包括高质量的光学器件、快门锁系统和镜头元件，以减少耀斑和失真并提高焦点分辨率。光学器件提供稳定和均匀的照明基板，从而产生精确的光刻。此外，这台机器的设计允许用户精确控制底物上的暴露模式和剂量。TOKYO ELECTRON ACT12还具有快速可靠的晶片装卸集成机制。这允许多镜头光刻和更高的吞吐量。先进的成像工具还允许选择不同的曝光面罩，以实现更高的模式保真度。这样就可以产生更高的精度和特征大小而不会失真。此外,该资产还包括精确的舞台和驱动器系统,以及易于导航的图形用户界面。该级确保沿X、Y和Z轴的运动一致且准确,并且驱动器能够精确控制曝光时间和输出功率。图形用户界面使用户能够轻松选择所需的设置并自定义每个进程。TEL ACT12旨在减少正确制作表面蚀刻和图桉所需的时间和工作量。其出色的光学、快门锁模型和镜头元件为用户提供了获得更高产量的精密图样的能力。此外，集成的晶片装卸机构允许更快、更可靠的多镜头光刻。凭借先进的成像设备以及舞台和驱动系统，ACT 12为用户提供了高效、可靠和精确的光刻系统。