二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种用于半导体製造的光刻胶设备。光致抗蚀剂系统用于在半导体晶片上施加光敏涂层。使用这种系统的目标是在晶片上创建模式来控制其电气和其他特性。TEL ACT 12是专为先进半导体制造而设计的优化光刻胶系统。它是一种高级工具，具有内置投影仪、双焦点和篮子式卸载/装载站。根据客户的要求,可以对设备进行编程,以提供具有低于0.35 µm的子分辨率特征的图桉化层。TOKYO ELECTRON ACT12配备了双级12英寸外盒，确保晶片在加工过程中牢固地固定。投影曝光机在广阔的曝光区域内提供高度精确的图像。投影仪配有激光干涉仪和自动对准工具，可确保精确投影。基于数学算法优化的双焦点点也有助于提高投影图像的准确性。此外，资产还具有集成冗余模型。这样可以确保在发生设备故障时,它安全地发生故障,并且不会损坏晶片。该系统还包括一个低振动的顶级输送机单元，在加工过程中最大限度地减少振动，减少对晶片的伤害。最后，ACT 12设计了一个用户友好的图形界面。这是为了使机器设置和模式创建更容易和更快。该工具还配备了嵌入式监控模块，可连续监控资产性能，并提供任何异常的详细反馈。总的来说，TOKYO ELECTRON ACT 12是一个强大的光刻胶模型，专门设计用于先进的半导体制造。该单元结合了自动对准、双焦点和设备冗余系统等功能,为在半导体晶片上创建复杂模式提供了高精度和可靠性。