二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9114986 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款由TEL（TOKYO ELECTRON Ltd）生产的光刻胶设备。它是为微电子装置（MEMs）的制造过程而设计的，使得能够生产设备制造所需的高分辨率图样。该系统以ACT平台为基础，该平台提供了前所未有的性能，可对各种光刻材料进行制图，并产生出色的光刻效果和快速的周转时间。该设备配备了一系列旨在简化设备制造的功能。其两步光刻工艺，包括曝光前烘烤和曝光后烘烤，允许高通量。它还具有高达两倍的成像速度，传统的干蚀刻系统，并支持各种光敏化学和遮罩材料。TEL ACT 12高精度，具有亚微米精度，使最详细的模式曝光。它还具有双向成像能力，并结合了一个串联特性，允许在一个过程中传递正负光刻胶层。该机器具有足够的灵活性，能够满足从微芯片制造和MEM设备制造到生物技术和医疗设备制造等多种行业的需求。该工具在一系列基材上表现最佳，包括硅、砷化氙、多晶、有机和金属氧化物，使其成为应用于多个行业的通用解决方桉。资产带有直观的用户界面,便于导航和操作。它有一个强大的配方数据库，用户可以在其中访问不同光刻材料和基材的不同工艺和参数。该车型在设计时考虑到了高度的安全性，具备可靠的集烟设备和几个安全特性，确保了系统的安全准确运行。它也易于维护,但由于服务或维护,停机时间最短。总之，TOKYO ELECTRON ACT12是一种专为微电子器件制造而设计的光阻装置，具有前所未有的性能和准确性。它具有高精度和灵活性，具有直观的用户界面、可调的处理速度以及一系列安全功能，以确保其安全运行。此外,该机器易于维护,并且由于维修或维修而导致的停机时间最短。