二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187391 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是TEL在半导体工业中开发的光刻和蚀刻光刻设备。它是一种先进的离子辅助电子束（IAEB）光刻系统，旨在为不到10纳米的超微小电路结构提供高精度的图样性能和蚀刻。该装置在若干领域具有突破性的创新，包括高度敏感的第7代法拉第偏转器、改进的光束映射和控制，以进行精细聚焦调节和可靠的高分辨率成像，以及先进的双光束光学元件，以便在光刻和蚀刻过程之间进行无缝的即时切换。这种组合使得高质量的图样甚至可以解决3维电路结构。TEL ACT 12还具有先进的计量系统，以确保整个晶圆的过程均匀性。这包括通过高分辨率映射来确定晶圆上的抗蚀剂轮廓，以及对工艺效果的高精度评估。此外，该机还提供了不同阶段的抗蚀剂性能的物理缺陷自动检测和实时检测。高分辨率成像和先进的计量系统使TOKYO ELECTRON ACT12能够提供高水平的缺陷管理准确性和可用性。这包括减少工艺的前端和后端阶段的缺陷,以及整个晶圆的层厚度和线宽的一致性。此外，该工具还配备了一系列工具，用于优化和控制曝光和剂量、束电流、偏转和轨迹，以及补偿线缘粗糙度和短裤和开口等因素。它还提高了可靠性,减少了停机时间,并提高了尖端并行处理能力,从而提高了吞吐量。总之，TEL ACT12是光刻资产开发的突破性创新，为半导体行业最高性能的光刻和蚀刻工艺提供了理想的平台。其尖端特点、操作简便、精度高，使其成为强大的车型选择。