二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187393 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款设计用于半导体制造工艺的高性能光刻胶设备。它利用激光诱导的蚀刻图样暴露在晶圆基板上,用于生产电子半导体器件。该系统配备了一个先进的成像单元,可以创建高度精确的图样,曝光能力为0.1 μ m或更高。该机器基于一个获得专利的激光源,一个10 W的光学激光头,使曝光能够快速准确地进行。激光源是一种高能、波长稳定的激光工具,在很短的时间内产生高精度、无瑕疵分辨率的字符、线条和几何形状。TEL ACT 12还有一个12英寸的光掩模,允许更大范围的光刻胶选项和曝光。它配备了一个七英寸的方形遮罩图桉,用来将电路写入晶圆。成像资产采用独特的"模板驱动"技术,无需人工干预即可快速制作高度复杂的形状和图桉。该型号具有可调节的掩模强度,因此可以精确控制蚀刻,而无需任何额外的光源。除了先进的成像设备和激光源,该系统还结合了自动化的过程控制,可以编程产生高产量的可靠电路。晶圆对准准确,分辨率精度保持一致。该单元还包括一个晶片清洗站和一个平板显示器,用于控制和监测成像过程。TOKYO ELECTRON ACT12是一种先进的半导体制造机,设计用于在短时间内产生高精度和可靠的电路。它的高性能、高精度成像工具允许在晶片基板上对图样进行一致和可靠的蚀刻,为制造复杂、高性能的电子半导体器件提供了绝佳的选择。
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