二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9195881 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光阻设备,设计用于处理先进的光掩模生产和薄膜器件制造工艺。它是一个高度自动化、高精度的系统,可用于生产用于各种工业应用的薄膜感光材料。该装置的设计目的是在工艺控制和对加工材料的精确控制方面提供具有成本效益的制造选择。利用自动化的光掩模曝光方法,该机器能够精确地设计和管理具有不同电阻率的感光膜和材料。电阻率的变化以及改变材料灵敏度的能力可以通过自动化工具得到一致和准确的处理。TEL ACT 12资产还具有三阶段开发周期,可以根据用户需求进行配置。这个周期包括开发前过程、曝光过程和开发后过程。在预开发过程中,用户定义曝光的光掩模和工艺参数;在曝光过程中,光掩模随后暴露于材料上的构象光致抗蚀剂;最后,开发后的过程涉及光致抗蚀剂的曝光和开发。该模型设计为集成高精度检测和在线过程控制工具,使样品生产更加精细。这使得锐利和高分辨率的图样成为可能,允许用户在薄膜和感光材料上实现复杂复杂的图样。设备还配备了先进的分析功能,可用于精确测量材料参数,检测图样膜的误差和变化。总体而言,TOKYO ELECTRON ACT12是一种高度自动化、经济高效的系统,可用于生产薄膜感光材料。它能够精确制图,可用于生产高可靠性的精密精密薄膜。
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