二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9224985 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种专为半导体工业而设计的光阻设备。它是用于创建半导体电路的高度专业化的工具。这个系统特别利用了一种叫做"正"的光刻胶,通过改变其分子结构来响应紫外线或可见光的图样。改变后的分子在图桉化的表面上形成一层极薄的保护膜。TEL ACT 12单元由三个主要组成部分组成。首先,使用专用的蒙版对齐器来曝光光刻胶。该装置配有高精度光学器件,允许光掩模与基板精确对准。第二个组成部分是一个面罩照明机,由一个产生紫外线或可见光光束的氙气或K灯组成。根据应用程序的不同,照明工具可以配置为传递宽或窄辐射光谱。最后,资产包含一个开发室,该室容纳用于在基板上蚀刻暴露电路图样的工艺化学品。TOKYO ELECTRON ACT12模型擅长在广泛的应用中产生极其精确的图样。为了达到这一精度水平,设备配备了可编程变焦对焦、机械背面对准、内置过程监控能力等先进功能。此外,TEL还发布了一个"自动调谐"版本的ACT12系统,它允许用户根据所使用的图样和基板快速调谐某些参数,如掩模对齐器、照明单元和开发室设置。总之,TOKYO ELECTRON ACT 12是一种先进、可靠的半导体器件和电路中产生精细模式的机器。它具有先进的特性,能够精确对准和曝光光刻胶,并且能够产生极其精确的图桉。此外,TOKYO ELECTRON Auto-Tune功能使工具极富通用性,让使用者可以快速轻鬆地为不同的应用设定资产。
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