二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235799 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光刻设备，常用于微加工过程，如光刻。它使用了一种液态的光致抗蚀剂，施加在基板上，然后暴露在紫外线光源下。紫外线会使光致抗蚀剂发生化学反应，使其在暴露于光线下的区域硬化，使未暴露的区域变得更柔软。这种通过选择性硬化和软化光致抗蚀剂创建图样化表面的过程被称为"成像"。TEL ACT 12是一种高度先进的系统，使用先进的自旋涂层/喷涂方法，均匀地应用光刻胶。该单元包括一个主处理器、一个晶片加热器和一个带有旋转涂层/喷头的多旋转器机器。主处理器在旋转涂层/喷涂过程中控制刀具的温度和湿度。使用TOKYO ELECTRON ACT 12的曝光盒完成影像成形。这个盒子里既有可投射的也有无遮罩的曝光资产，使用氮气净化的光学器件来降低来自灯的热量引起的任何蒸气压。图像成形过程进一步得到ACT 12的反射板模型的辅助，该模型在曝光盒和基板之间反射光线，以确保曝光的基板的均匀曝光。成像完成后，TOKYO ELECTRON ACT 12具有在洁净室环境中发展基板的能力。这是使用专门的喷雾器完成的，该喷雾器可以有效地应用显影剂并去除未曝光的光刻胶。TEL ACT 12的开发者设备也有能力快速准确地检测晶圆上存在的任何缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12系统是光刻工艺的高效可靠单元。其先进的自旋涂层和喷涂技术确保光刻胶均匀地涂在基板上，其可投射和无掩模的曝光机确保基板的均匀曝光。此外，它的显影剂工具能够快速准确地检测基板上存在的任何缺陷。