二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，设计用于在基板表面创建先进的图样和结构。光致抗蚀剂是一种对辐射反应或变化的材料，通常是光或紫外线（UV）光，可用于在表面上创建图样或结构。TEL ACT 12旨在让使用者准确控制在基板表面所建立的模式和结构。TOKYO ELECTRON ACT12被设计为一个曝光系统，并有一个扫描曝光方法，以便用户能够准确控制使用光刻胶所创造的模式和结构。它有两个电子枪，一个用于光致抗蚀剂，另一个用于背面。该枪可用于精确调整用于暴露光刻胶的辐射剂量。光刻胶的曝光时间也可以调整，以确保使用正确的剂量。TEL ACT12除了控制辐射暴露的精确度外，还具有较高的吞吐量能力。单元上的电子枪可以在不到18秒的时间内扫描多达40毫米（1.6in）的基板。这意味着大面积的基板可以在短时间内覆盖，而不牺牲过程的准确性。ACT 12也有几个安全特性。有泄漏监视器可以检测任何泄漏的辐射，还有一个紧急快门可以在机器发生故障时保护基板，并开始发出高水平的辐射。该工具还旨在最大限度地减少过程产生的废物量。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光致抗蚀剂资产，设计用于精确控制辐射暴露于基板表面。凭借其两把电子枪、高通量能力和安全特性，该型号非常适合各种基材和图样应用。它是当今市场上最精确可靠的光刻胶系统之一。