二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239543 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）开发，用于半导体工业的光阻设备。该系统旨在在半导体晶片上处理光敏涂层时提供准确、均匀和可重复的结果。TEL ACT 12单元设计有一个自动清洁臂，在光刻涂层之前清除晶片的任何污染。然后将晶片放置在机器中，在机器中将精确量的光致抗蚀剂分层施用，厚度最大为12微米。光致抗蚀剂的分层是通过使用基于激光的干涉级实现的，该级可确保精确的厚度控制和涂层的均匀性。自动清洗臂还可确保在烘烤后的过程中从晶片中除去任何多余的光刻胶。在高温（高达500摄氏度）下进行后烘烤,以确保光刻胶涂层已完全固化并准备好进行加工。TOKYO ELECTRON ACT12工具配备了先进的监控资产，使其能够在处理过程中精确控制和监控模型的温度。这样可以确保光致抗蚀剂层得到准确的固化,并且过程中的温度不会超过建议的极限。ACT12的软件界面用户友好、直观。它提供各种编程选项，以及用于控制设备运行的直观用户界面。这使用户能够根据需要轻松设置和调整光刻胶层。该系统还提供先进的自动化功能，包括自动晶圆处理和校准。这使用户能够快速轻松地调整光刻胶的层和厚度。TOKYO ELECTRON ACT 12光抗蚀剂单元是一种处理和涂覆半导体晶片的强大、精确、可靠的机器。它的高级功能使用户能够快速、轻松地在晶片上获得均匀和可重复的涂层,而其自动清洁臂确保晶片在加工前不会留下任何污染物。先进的监测工具确保资产的温度以受控的方式保持，使用户能够在处理过程中精确控制光致抗蚀层。它还提供了一个直观的用户界面，允许用户轻松编程层和厚度级别。